传感器有多种类型,其制造工艺也多样,下面介绍常见的几种工艺。
集成传感器是使用标准工艺技术制造的,用于生产硅基半导体集成电路。通常用于对被测信号进行初步处理的部分电路也集成在同一芯片上。
薄膜传感器是通过在介电基板(基板)上沉积相应敏感材料的薄膜而形成的。当使用混合工艺时,部分电路也可以在此基板上制造。
厚膜传感器是通过在陶瓷基板上涂布相应材料的浆料制成的。基板通常由Al2O3制成,然后进行热处理以形成厚膜。
陶瓷传感器是使用标准陶瓷工艺或其变体之一(溶胶、凝胶等)生产的。
在适当的准备操作之后,成型元件在高温下烧结。厚膜和陶瓷传感器这两种工艺有很多共同的特点,在某些方面,厚膜工艺可以被认为是陶瓷工艺的一种变体。